激光干涉儀環境的的影響因素及消除方法

1、影響因素

下面所列任何一種環境參數的變化都會導致大約1μm的誤差：

(1)、空氣溫度:1℃

(2)、空氣壓力:0.3kPa

(3)、相對濕度:30%

特別是振動對測量的影響是非常大的，振動可能導致測量數據的分散，明顯影響重復性的測量。甚至可能使測量無法正常進行下去。

2、減少及消除的方法

(1)、測量盡量在恒溫車間進行，以保持環境溫度的相對穩定。

(2)、在環境參數偏離標準條件時，可使用EC10環境補償單元對溫度、壓力、濕度進行自動補償，可使上述(溫度、壓力、濕度)誤差減少到±1.1μm。

(3)、盡量關掉車間的照明燈和機床上的工作燈，以減少熱源。

(4)、在夏季，為了減少激光器的發熱，可用電風扇對其進行散熱和降溫，以延長激光器的使用時間。

(5)、在測量時，應盡量避免車間各種振動的產生，如機床、行車等。在必要時，可在下班或晚上比較安靜的環境下測量。同時，應將反射鏡和干涉鏡分別安裝在刀具/中滑板位置和床身位置上，激光器安裝在盡量靠近機床的位置，使用盡可能短的加長安裝附件來固定光學元件，以減少機床振動產生的影響。

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